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超硬多層薄膜的研究現(xiàn)狀及展望
超硬多層薄膜的性能隨調(diào)制周期的變化而發(fā)生變化,在某一范圍出現(xiàn)超模、超硬等異常效應(yīng).由于其潛在的實(shí)際應(yīng)用價(jià)值及理論意義,超硬多層薄膜成為近年來(lái)人們研究的熱點(diǎn).綜述了近年來(lái)國(guó)內(nèi)外學(xué)者對(duì)超硬多層薄膜的研究結(jié)果,介紹了其超硬多層薄膜類型、主要性能特點(diǎn)以及制備工藝,并對(duì)未來(lái)的發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了展望.
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