Z軸硅微機(jī)械陀螺儀溫度特性研究

硅陀螺儀是近年來發(fā)展起來的一種新型角速度傳感器,溫度變化是其主要誤差源之一.分析了溫度變化對硅微陀螺儀的諧振頻率和品質(zhì)因數(shù)的影響,并選擇常溫下機(jī)械品質(zhì)因數(shù)不同的兩個(gè)陀螺在-40℃～80℃溫度范圍內(nèi)進(jìn)行測試,得出機(jī)械品質(zhì)因數(shù)和諧振頻率隨溫度變化規(guī)律.實(shí)驗(yàn)結(jié)果驗(yàn)證了陀螺儀諧振頻率隨溫度升高而線形下降;溫度變化時(shí),封裝陀螺儀抽真空度對陀螺機(jī)械品質(zhì)因數(shù)產(chǎn)生明顯影響.

作 者： 陳淑鈴 楊波 王壽榮 CHEN Shu-ling YANG Bo WANG Shou-rong   作者單位： 東南大學(xué)儀器科學(xué)與工程學(xué)院,南京,210096  刊 名： 電子器件  ISTIC 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF ELECTRON DEVICES  年，卷(期)： 2008 31(6)  分類號： V241.59  關(guān)鍵詞： 微機(jī)械陀螺儀   溫度特性  

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