靜電懸浮轉子微陀螺微位移信號檢測系統(tǒng)的設計

為實現(xiàn)對懸浮轉子微陀螺轉子五自由度的測量,提出了一種頻分復用的微位移檢測原理,主要介紹了多頻率信號發(fā)生器,前置放大器,鎖櫥放大器組成的測試系統(tǒng),設計了一種基于DDS技術的多頻率信號發(fā)生器和基于鎖相放大原理的解調電路.實驗和分析結果表明,該電路能實現(xiàn)多自由度微位移檢測,設計的多頻率信號發(fā)生器的頻率分辨率能達到0.005821Hz,相位分辨率可以達到0.006rad,檢測軸向靈敏度為1.34V/μm,檢測徑向靈敏度為0.092V/μm,測量電路的軸向位移分辨率為0.45nm,徑向位移分辨率為6.6nm,轉角的分辨率為0.25μrad,位移檢測電路的分辨率,靈敏度和測量范圍能夠滿足靜電懸浮轉子微陀螺的控制需要.

作 者： 肖奇軍 陳文元 崔峰 李勝勇 黃曉剛 邵珰珰   作者單位： 肖奇軍(上海交通大學微納科學技術研究院,上海,2000130;廣東肇慶學院電子信息工程系,廣東肇慶,526061)

陳文元,崔峰,李勝勇,黃曉剛,邵珰珰(上海交通大學微納科學技術研究院,上海,2000130) 

刊 名： 機電工程技術  英文刊名： MECHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2009 38(5)  分類號： U666.1  關鍵詞： 微陀螺   微位移檢測   信號發(fā)生器   鎖相放大器  

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