微電容加速度計(jì)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

為了在總體上把握硅微加速度計(jì)的設(shè)計(jì),建立了叉指式硅微加速度計(jì)的機(jī)械模型,研究了全差分二階∑-△ADC接口檢測(cè)電路提取加速度信號(hào),優(yōu)化了開(kāi)關(guān)電容電路來(lái)檢測(cè)微小電容變化量,運(yùn)用微機(jī)電專用設(shè)計(jì)軟件CoventorWare對(duì)系統(tǒng)的機(jī)電混合模型進(jìn)行仿真,并給出數(shù)字和模擬的分析結(jié)果,為加速度計(jì)系統(tǒng)的機(jī)械部分和電路部分的設(shè)計(jì)提供整體的更接近實(shí)際的設(shè)計(jì)參考.

作 者： 解磊 蘇偉 陳泉根 XIE Lei SU Wei CHEN Quan-gen   作者單位： 中國(guó)工程物理研究院,電子工程研究所,四川,綿陽(yáng),621900  刊 名： 傳感器與微系統(tǒng)  PKU 英文刊名： TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGIES  年，卷(期)： 2007 26(11)  分類號(hào)： U666.122  關(guān)鍵詞： 加速度計(jì)   微機(jī)電系統(tǒng)   仿真  

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