微電容加速度計系統(tǒng)的設計

為了在總體上把握硅微加速度計的設計,建立了叉指式硅微加速度計的機械模型,研究了全差分二階∑-△ADC接口檢測電路提取加速度信號,優(yōu)化了開關電容電路來檢測微小電容變化量,運用微機電專用設計軟件CoventorWare對系統(tǒng)的機電混合模型進行仿真,并給出數(shù)字和模擬的分析結果,為加速度計系統(tǒng)的機械部分和電路部分的設計提供整體的更接近實際的設計參考.

作 者： 解磊 蘇偉 陳泉根 XIE Lei SU Wei CHEN Quan-gen   作者單位： 中國工程物理研究院,電子工程研究所,四川,綿陽,621900  刊 名： 傳感器與微系統(tǒng)  PKU 英文刊名： TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGIES  年，卷(期)： 2007 26(11)  分類號： U666.122  關鍵詞： 加速度計   微機電系統(tǒng)   仿真  

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