準分子激光均束器及其研究進展

以準分子激光在半導(dǎo)體微光刻技術(shù)、脈沖激光沉積、平板顯示器加工制造以及激光鉆孔中的應(yīng)用為例,闡述了準分子激光光束均勻化的重要性;按照折射光學元件、衍射光學元件和混合光學元件分類的方法,分別對這三類準分子激光均束器進行了介紹,并對其特點、應(yīng)用和進展情況進行了綜述.

作 者： 裴文彥 周金運 林清華   作者單位： 裴文彥(廣東工業(yè)大學實驗教學部)

周金運,林清華(廣東工業(yè)大學物理與光電工程學院,廣東,廣州,510006) 

刊 名： 中國科技博覽  英文刊名： ZHONGGUO BAOZHUANG KEJI BOLAN  年，卷(期)： 2009 ""(7)  分類號： U305.7  關(guān)鍵詞： 準分子激光   均束器   光刻   加工窗  

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