用于能量傳輸?shù)纳�物體植入式MEMS電感線圈的設(shè)計(jì)

為了能得到植入在生物體內(nèi),用于體內(nèi)微型電子系統(tǒng)與體外設(shè)備信號(hào)和能量傳輸?shù)母咂焚|(zhì)因數(shù)Q值和高電感量L值的MEMS電感線圈,本文首先對(duì)MEMS電感模型做了理論分析,然后在充分考慮功率傳輸要求、植入器件體積的限制以及制作工藝的可實(shí)現(xiàn)性的情況下,用高精度的3D電磁仿真軟件HFSS,對(duì)電感的主要參數(shù)如圈數(shù)N、線寬W、導(dǎo)線間隙S、導(dǎo)線厚度H、導(dǎo)線材料M和襯底電導(dǎo)率σ作了優(yōu)化設(shè)計(jì).最終確定N=10、W=25μm、S=50μm、H=48μm、M為Cu、σ=0.1s/m.數(shù)值仿真的結(jié)果顯示Q=17.6,L=55nH,fQMAX=240MHz,fself=1.2GHz,它們能很好地符合能量傳輸?shù)墓β室�求和信�?hào)傳輸?shù)膸�寬要�?

作 者： 駱明輝 盧露 郭航 Ming-hui Luo Lu Lu Hang Guo   作者單位： 廈門(mén)大學(xué)薩本棟微納米技術(shù)研究中心,廈門(mén),361005  刊 名： 生命科學(xué)儀器  英文刊名： LIFE SCIENCE INSTRUMENTS  年，卷(期)： 2009 7(10)  分類(lèi)號(hào)： Q1  關(guān)鍵詞： 集成電感   可植入式微器件   MEMs   能量耦合   SU-8   電鍍  

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