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Ni80Fe20/Al2O3/Ni80Fe20隧道結(jié)磁電阻與退火效應(yīng)的研究
采用磁控濺射技術(shù)制備了Ni80Fe20/Al2O3/Ni80Fe20磁性隧道結(jié)樣品,觀測了該隧道結(jié)次伏安特性及隧道磁電阻的磁化曲線.研究了中間絕緣層結(jié)構(gòu)和厚度及不同退火條件對隧道結(jié)磁電阻效應(yīng)的影響.結(jié)果表明,中間氧化物的厚度對磁電阻值起調(diào)節(jié)作用,在3~7 nm范圍內(nèi)磁電阻基本呈現(xiàn)單調(diào)遞減現(xiàn)象,是提高磁隧道結(jié)性能必須考慮的因素;發(fā)現(xiàn)隧道結(jié)磁電阻隨退火溫度升高而增加,并在230℃左右達到最大.
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