Ti/TiO2多層膜的光電性能研究

用真空蒸發(fā)和自然氧化法在玻璃基底上制備了Ti/TiO2多層膜,并檢測了薄膜的光電性能.電性能檢測表明Ti/TiO2多層膜存在類負(fù)阻效應(yīng),多層膜的層間的類負(fù)阻效應(yīng)比表面的更明顯,薄膜的層間電阻率高于表面電阻率;用分光光度計(jì)測得試樣退火前后的透射譜;用X射線衍射儀和掃描電鏡檢測了Ti/TiO2多層膜的晶體結(jié)構(gòu)和表面形貌.

作 者： 武素梅 薛鈺芝 蘇夢 WU Su-mei XUE Yu-zhi SU Meng   作者單位： 大連交通大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院,遼寧,大連,116028  刊 名： 真空  ISTIC PKU 英文刊名： VACUUM  年，卷(期)： 2007 44(4)  分類號： O484.4  關(guān)鍵詞： Ti/TiO2多層膜   真空蒸發(fā)   類負(fù)阻效應(yīng)   光電性能  

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