SnO2/Si-NPA 復(fù)合薄膜氣敏傳感材料的酒敏特性研究

應(yīng)用勻膠旋涂和退火處理的方法將納米級SnO2和具有規(guī)則陣列結(jié)構(gòu)和多孔結(jié)構(gòu)的硅微米/納米結(jié)構(gòu)復(fù)合體系硅納米孔柱陣列(Si-NPA)進行很好地復(fù)合,對復(fù)合材料的電阻酒敏特性進行了測試.結(jié)果表明,SnO2/Si-NPA與Si-NPA相比對酒精具有更高的靈敏度和更好的長期穩(wěn)定性SnO2/Si-NPA良好的酒精敏感性能被歸因于復(fù)合薄膜材料既保持了襯底材料獨特的微納雙重結(jié)構(gòu),又保證了SnO2能夠發(fā)揮其在傳感方面的作用,即高靈敏度來自干其巨大的比表面積對酒精分子的物理吸附和材料對酒精分子化學(xué)吸附.通過工藝條件的進一步改進以及氣體標定系統(tǒng)和信號檢出系統(tǒng)進行配套設(shè)計與優(yōu)化,可望開發(fā)出性能優(yōu)異的酒敏傳感元件.

作 者： 陳紹軍 馮春岳 李新建 CHEN Shao-jun FENG Chun-yue LI Xin-jian   作者單位： 陳紹軍,CHEN Shao-jun(河源職業(yè)技術(shù)學(xué)院機電系,河源,517000;鄭州大學(xué)物理系,材料物理教育部重點實驗室,鄭州,450052)

馮春岳,李新建,FENG Chun-yue,LI Xin-jian(鄭州大學(xué)物理系,材料物理教育部重點實驗室,鄭州,450052) 

刊 名： 科學(xué)技術(shù)與工程  ISTIC 英文刊名： SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING  年，卷(期)： 2008 8(8)  分類號： O484.42  關(guān)鍵詞： 硅納米孔柱陣列   酒敏特性   SnO2 氣體傳感器  

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