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差動光程差倍增法測量微小位移
基于差動光程差倍增法將微小位移轉(zhuǎn)化為多倍光程差,通過電橋光電轉(zhuǎn)換電路,得到干涉條紋數(shù)的變化,采用差動干涉方法,提高了光程改變量與位移量的比例,使微小位移的測量精度提高到亞微米量級.
作 者： 江立輝 蔡春潮 梁建波 彭廣生 張紅 鄧誠先 JIANG Li-hui CAI Chun-chao LIANG Jian-bo PENG Guang-sheng ZHANG Hong DENG Cheng-xian 作者單位： 華南理工大學(xué),理學(xué)院,廣東,廣州,510640 刊 名： 物理實驗 PKU 英文刊名： PHYSICS EXPERIMENTATION 年，卷(期)： 2009 29(6) 分類號： O436.1 關(guān)鍵詞： 光程差倍增 差動干涉 電橋【差動光程差倍增法測量微小位移】相關(guān)文章：
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