基于非相干光反饋的表面輪廓測(cè)量仿真研究

對(duì)一種基于非相干光反饋的表面輪廓測(cè)量方法,對(duì)其進(jìn)行了理論仿真研究.建立了基于非相干光反饋表面輪廓測(cè)量的系統(tǒng)模型,分析了不同反饋光耦合強(qiáng)度的輸出特性,系統(tǒng)的穩(wěn)定狀態(tài),注入電流對(duì)系統(tǒng)的影響,以及反饋強(qiáng)度和表面深度的關(guān)系.結(jié)果證明該方法的可行性,研究結(jié)果對(duì)系統(tǒng)參數(shù)設(shè)計(jì)具有參考價(jià)值.

作 者： 許炯 馬軍山 胡菊菊 XU Jiong MA Junshan HU Juju   作者單位： 上海理工大學(xué),光電信息與計(jì)算機(jī)工程學(xué)院,上海,200093  刊 名： 光學(xué)儀器  ISTIC 英文刊名： OPTICAL INSTRUMENTS  年，卷(期)： 2009 31(6)  分類號(hào)： O43  關(guān)鍵詞： 非相干光反饋   表面輪廓測(cè)量   非接觸測(cè)量   仿真研究  

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