多孔硅整流特性研究

從多孔硅的最基本的器件結(jié)構(gòu)--金屬/多孔硅/硅入手,研究這種結(jié)構(gòu)的電學(xué)性質(zhì):整流特性,對進(jìn)一步理解和提高多孔硅的電致發(fā)光和多孔硅在其它一些電學(xué)方面的應(yīng)用有著積極的意義.用電化學(xué)腐蝕法制得多孔硅,對多孔硅電化學(xué)氧化和氮氣氣氛下退火,研究這兩種后處理方式對多孔硅整流特性的影響.多孔硅經(jīng)高濃度硫酸電化學(xué)氧化后,整流特性消失;多孔硅經(jīng)氮氣氣氛下退火后,整流特性增強;分析了相應(yīng)的機理.

作 者： 彭愛華 PENG Ai-hua   作者單位： 中國石油大學(xué),華東,物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院,青島,266555  刊 名： 科學(xué)技術(shù)與工程  ISTIC 英文刊名： SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING  年，卷(期)： 2009 9(21)  分類號： O472.4  關(guān)鍵詞： 多孔硅   整流特性   退火  

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