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Al摻雜ZnO薄膜原子力顯微圖像的多重分形研究
用原子力顯微鏡觀察溶膠-凝膠法制備Al摻雜znO薄膜的表面形貌,運用多重分形理論研究Al摻雜ZnO薄膜的原子力顯微圖像,多重分形譜可以很好地定量表征薄膜的表面形貌.結(jié)果顯示:Al摻雜量為0.5 at.%的ZnO薄膜經(jīng)550℃退火處理后,rms粗糙度為1.817,Al摻雜量為1.0 at.%的ZnO薄膜經(jīng)600℃退火處理后,rms粗糙度增大到4.625,相應(yīng)的分形譜寬△α從0.019增大到0.287,分形參數(shù)△f由-0.075變?yōu)?.124.
作 者: 呂建國 宋學(xué)萍 孫兆奇 L(U) Jian-guo SONG Xue-ping SUN Zhao-qi 作者單位: 呂建國,L(U) Jian-guo(安徽大學(xué)物理與材料科學(xué)學(xué)院,安徽合肥230039;合肥師范學(xué)院物理與電子工程系,安徽,合肥,230061)宋學(xué)萍,孫兆奇,SONG Xue-ping,SUN Zhao-qi(安徽大學(xué)物理與材料科學(xué)學(xué)院,安徽合肥,230039)
刊 名: 電子顯微學(xué)報 ISTIC PKU 英文刊名: JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY 年,卷(期): 2008 27(3) 分類號: O766 O484 TG115.21+5.7 關(guān)鍵詞: Al摻雜ZnO薄膜 原子力顯微圖像 表面形貌 多重分形譜【Al摻雜ZnO薄膜原子力顯微圖像的多重分形研究】相關(guān)文章:
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