基于Petri網的半導體晶圓制造系統建模與分析

晶圓制造生產線由于存在回流、并發(fā)、資源共享、隨機性的重做以及突發(fā)性設備故障等現象,使得生產管理及調度問題變得極為復雜.建立描述系統的模型是優(yōu)化系統性能的前提,指出了用Petri網建立晶圓制造系統模型的優(yōu)點,建立了一個擁有4個工作中心、8臺設備的晶圓制造系統Petri網模型,并對模型進行分析.最后提出了下一步的工作目標.

作 者： 邵志芳 錢省三   作者單位： 上海理工大學,工業(yè)工程研究所/微電子發(fā)展研究中心,上海,200093  刊 名： 系統工程理論方法應用  ISTIC PKU 英文刊名： SYSTEMS ENGINEERING-THEORY METHODOLOGY APPLICATIONS  年，卷(期)： 2004 13(2)  分類號： N945.12  關鍵詞： 半導體晶圓制造   Petri網模型   分析  

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