- 相關(guān)推薦
基于Petri網(wǎng)的半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)建模與分析
晶圓制造生產(chǎn)線由于存在回流、并發(fā)、資源共享、隨機(jī)性的重做以及突發(fā)性設(shè)備故障等現(xiàn)象,使得生產(chǎn)管理及調(diào)度問(wèn)題變得極為復(fù)雜.建立描述系統(tǒng)的模型是優(yōu)化系統(tǒng)性能的前提,指出了用Petri網(wǎng)建立晶圓制造系統(tǒng)模型的優(yōu)點(diǎn),建立了一個(gè)擁有4個(gè)工作中心、8臺(tái)設(shè)備的晶圓制造系統(tǒng)Petri網(wǎng)模型,并對(duì)模型進(jìn)行分析.最后提出了下一步的工作目標(biāo).
作 者： 邵志芳 錢省三 作者單位： 上海理工大學(xué),工業(yè)工程研究所/微電子發(fā)展研究中心,上海,200093 刊 名： 系統(tǒng)工程理論方法應(yīng)用 ISTIC PKU 英文刊名： SYSTEMS ENGINEERING-THEORY METHODOLOGY APPLICATIONS 年，卷(期)： 2004 13(2) 分類號(hào)： N945.12 關(guān)鍵詞： 半導(dǎo)體晶圓制造 Petri網(wǎng)模型 分析【基于Petri網(wǎng)的半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)建模與分析】相關(guān)文章：
基于隨機(jī)Petri網(wǎng)的FMS建模及其性能分析04-27
基于故障Petri網(wǎng)的車務(wù)段接發(fā)列車事故建模分析04-28
基于Petri網(wǎng)的工作流過(guò)程建模04-28
基于Petri網(wǎng)的工作流優(yōu)化分析04-27
著色Petri網(wǎng)在UML建模中的應(yīng)用04-29
基于層次著色Petri網(wǎng)的多機(jī)協(xié)同多目標(biāo)攻擊決策建模04-28
基于對(duì)象的有色Petri網(wǎng)艦載C3I系統(tǒng)模型04-29
基于UML的小型汽車制造企業(yè)物流系統(tǒng)的分析04-30